本發(fā)明公開了一種從單晶硅或多晶硅的切割或磨削加工硅晶片過程中產(chǎn)生的廢砂漿制取白炭黑同時回收碳化硅粉的工藝方法，包括對預處理后的廢砂漿中加入氟化銨，使其與砂漿中的硅進行反應生成氯硅酸銨和氨氣，加水過濾得純的碳化硅;再在生成的氟硅酸氨水溶液中滴加氨水生成白炭黑和氟化銨，氟化銨經(jīng)濃縮循環(huán)使用。本發(fā)明方法可以有效的利用廢砂漿中的硅制取白炭黑，同時回收碳化硅，通過氟化銨循環(huán)使用，有效地降低廢砂漿的回收和制白炭黑的成本，是一種變廢為寶的實用技術(shù)，大大減少了污水的外排，具有明顯的經(jīng)濟和社會效益。